本系創立於1964年，係配合當時電子科學快速發展，

以半導體物理與元件和應用光學之研究為主。

因此以電子物理為系名，是當時全國唯一的電子物理系，

無論是半導體實驗或是雷射應用等，

均是國內最新穎、最具前瞻性之教學和研究，

並奠定了本校在國內半導體和光電領域的龍頭地位。

目前本系隸屬於理學院，但授予學士班學生工學士之學位。

 

為配合高科技發展之趨勢和本系師資之專長，

2004年開始，

本系大學部招生分電子物理組及光電與奈米科學組兩組。

其中電子物理組承襲過去，傳統著重在半導體物理、

凝態物理、電子科學和理論物理的教學與研究。

而光電奈米組則繼續發揚過去在光電材料與元件、

雷射技術、雷射物理及光資訊儲存的研究與教學成果，

並且積極擴充在奈米量測技術、奈米生物、奈米結構

與奈米光電元件製作之教學與研究設備與師資

 

由於電子物理系原脫於電機工程系，

所以培養學生仍以"工程訓練"方式

來達其對電子與物理科學的認識，

使學生不但有紮實的科學理論基礎，

亦有足以擔當大任的工程與實驗能力。